微波三极管与四极管的工作基于电子流的静电控制原理（见真空电子器件）。按电极结构可分为平板电极和圆柱电极两种。大功率微波三、四极管通常采用同轴结构。微波三、四极管的特点是对电源要求低，环境性能好，结构简单，频率和相位稳定性好，线性好，交调失真系数低,频谱特性好,脉冲动率大。因此，微波三、四极管已在各种整机中得到广泛的应用。由于受工作原理的局限，微波三、四极管在6000兆赫以上的频率上效率较低，功率较小，应用范围受到限制。在连续波低功率电平上的应用不及半导体器件。
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